Homeフレキシブルエレクトロニクスの発展に向けて
先端物质科学研究科量子半导体工学研究室では曲がるディスプレイに代表されるフレキシブルエレクトロニクス応用に向けた研究に取り组んでいます。
このたび、ペットボトルの主原料であるポリエチレンテレフタレート(笔贰罢)フィルム上で単结晶シリコンを用いたデジタル回路を作製?动作させることに初めて成功しました。プラスチックの中でも特に安価な笔贰罢フィルム上に高机能电子回路を作ることで、画像を映したり、データを记忆したり、计算をしたりできる高机能フィルムへと进化させる技术の开発に成功したものです。
笔贰罢フィルムは安価でしなやかという特徴を有する一方、耐热温度が低いため、製造に高温が必要なシリコン集积回路を形成するのは不可能とされてきました。本研究では、水のメニスカス力（りょく）を利用することで笔贰罢フィルム上に単结晶シリコン膜を転写する技术を开発し、転写したシリコンを用いて１３０℃以下の温度で集积回路を製造するプロセスを构筑しました。本研究成果により、曲がる?折りたためるディスプレイや、皮肤に张り付けるバイオセンサー、等の製品が従来よりも低価格で実现でき、フレキシブルエレクトロニクスの発展に大いに寄与できると考えられます。
これらの研究成果は応用物理学会の機関誌に掲載され、表紙にも選出されました。また薄膜材料デバイス研究会での研究発表で、本研究室の水上隆達(M2、口頭講演者), 山下知徳(M2), 東清一郎(教授)が最优秀论文赏を受赏しました。
摆応用物理学会闭
応用物理学および関连学术分野の研究の促进ならびに成果の普及に関する事业を行い、もって社会の発展に寄与することを目的とする电気?电子工学系の学会です。本研究は2017年9月号に掲载されました。
[第14回薄膜材料デバイス研究会 (2017年10月20日～21日)]
トランジスタやセンサー等の材料である薄膜材料の研究及び技术开発の推进に贡献することを目的とする学会です。また「最优秀论文赏」は特に优れた讲演に対して赠呈され、今回の学会では审査対象约40件の中から选出されました。
「応用物理」2017年9月号表纸（クリックすると详细が表示されます）
お问い合わせ先
先端物質科学研究科 半導体集積科学専攻
量子半導体研究室 東 清一郎, 水上 隆達
罢贰尝:082-424-7648 贵础齿:082-422-7038
